Rancangan bangun UV-Aligner berbiaya rendah untuk proses photolithography
Format: | Bachelors Doctoral |
---|---|
Terbitan: |
Fakultas Teknik Universitas Indonesia
, 2013
|
Subjects: | |
Online Access: |
http://lib.ui.ac.id/file?file=digital/2016-4/20394889-SPDF-mochtar_chandra-skripsi-fakultas_teknik-full_text-2013.pdf |
ctrlnum |
20394889 |
---|---|
fullrecord |
<?xml version="1.0"?>
<dc schemaLocation="http://www.openarchives.org/OAI/2.0/oai_dc/ http://www.openarchives.org/OAI/2.0/oai_dc.xsd"><title>Rancangan bangun UV-Aligner berbiaya rendah untuk proses photolithography.</title><creator/><type>Thesis:Bachelors</type><place/><publisher>Fakultas Teknik Universitas Indonesia</publisher><date>2013</date><description>[Kebutuhan dan permintaan yang tinggi akan proses fabrikasi dalam skala mikro
atau nano dibidang peralatan medis, elektronik maupun telekomunikasi
mendorong
p
roses fabrikasi murah
sekarang banyak dikembangkan. Peneliti dan perusahaan
berlomba
-
lomba mengemb
angkan proses
-
proses baru atau memperbaruhi proses
-
proses lama seperti photolithography atau lithography. Salah satu cara membuat
produksi murah adalah memproduksi alat
-
alat produksi yang murah dan mudah
diproduksi sesuai dengan sumber daya yang tersedia s
ecara lokal.
UV
-
ali
g
n
er
yang berhasil dibuat memiliki nilai lebih dari segi konsumsi bahan dan tempat
yang efisien dengan kemampuan melakukan proses
contact printing
(jarak gap
0.58 mm). Jarak pemaparan dapat diatur sebesar 20
-
200 mm untuk perubahan
terkec
il 138.89 &#956;m. Pemaparan dilakukan menggunakan lima buah lampu UV
-
C
11 W
dengan panjang gelombang 253.7 nm
yang disusun secara paralel., Highly needs and demands of micro and nano fabrication process in medical, IC
and telecommunication makes low cost fabrication process
excessively
develop
ed
.
Researche
rs and companies compete in
developing
new processes or
innovate on
old processes
used process
es
like photolithography or lithography.
One
strategy
to
make cheap production
is to produce low cost and easily
-
manufactured
production
tools using local
re
sourc
es.
As a result, m
anufactured UV
-
aligner has better values
over
optimization
material consumption and space
with the ability to do contact
printing process (gap length 0.58 mm). Range of exposure distance can be set
from 20
-
200 mm and
the
smallest
change i
s 138.89
&#956;m
. Exposure source uses five
parallel
commercial
UV
-
C 11 W lamp
s
with a wavelength of 253.7 nm.]</description><subject>Microfabrication.</subject><identifier>20394889</identifier><source>http://lib.ui.ac.id/file?file=digital/2016-4/20394889-SPDF-mochtar_chandra-skripsi-fakultas_teknik-full_text-2013.pdf</source><recordID>20394889</recordID></dc>
|
format |
Thesis:Bachelors Thesis Thesis:Doctoral |
title |
Rancangan bangun UV-Aligner berbiaya rendah untuk proses photolithography |
publisher |
Fakultas Teknik Universitas Indonesia |
publishDate |
2013 |
topic |
Microfabrication |
url |
http://lib.ui.ac.id/file?file=digital/2016-4/20394889-SPDF-mochtar_chandra-skripsi-fakultas_teknik-full_text-2013.pdf |
contents |
[Kebutuhan dan permintaan yang tinggi akan proses fabrikasi dalam skala mikro
atau nano dibidang peralatan medis, elektronik maupun telekomunikasi
mendorong
p
roses fabrikasi murah
sekarang banyak dikembangkan. Peneliti dan perusahaan
berlomba
-
lomba mengemb
angkan proses
-
proses baru atau memperbaruhi proses
-
proses lama seperti photolithography atau lithography. Salah satu cara membuat
produksi murah adalah memproduksi alat
-
alat produksi yang murah dan mudah
diproduksi sesuai dengan sumber daya yang tersedia s
ecara lokal.
UV
-
ali
g
n
er
yang berhasil dibuat memiliki nilai lebih dari segi konsumsi bahan dan tempat
yang efisien dengan kemampuan melakukan proses
contact printing
(jarak gap
0.58 mm). Jarak pemaparan dapat diatur sebesar 20
-
200 mm untuk perubahan
terkec
il 138.89 μm. Pemaparan dilakukan menggunakan lima buah lampu UV
-
C
11 W
dengan panjang gelombang 253.7 nm
yang disusun secara paralel., Highly needs and demands of micro and nano fabrication process in medical, IC
and telecommunication makes low cost fabrication process
excessively
develop
ed
.
Researche
rs and companies compete in
developing
new processes or
innovate on
old processes
used process
es
like photolithography or lithography.
One
strategy
to
make cheap production
is to produce low cost and easily
-
manufactured
production
tools using local
re
sourc
es.
As a result, m
anufactured UV
-
aligner has better values
over
optimization
material consumption and space
with the ability to do contact
printing process (gap length 0.58 mm). Range of exposure distance can be set
from 20
-
200 mm and
the
smallest
change i
s 138.89
μm
. Exposure source uses five
parallel
commercial
UV
-
C 11 W lamp
s
with a wavelength of 253.7 nm.] |
id |
IOS18068.20394889 |
institution |
Universitas Indonesia |
institution_id |
51 |
institution_type |
library:university library |
library |
Perpustakaan Universitas Indonesia |
library_id |
492 |
collection |
Repository Disertasi (Membership) Universitas Indonesia |
repository_id |
18068 |
city |
KOTA DEPOK |
province |
JAWA BARAT |
repoId |
IOS18068 |
first_indexed |
2022-12-14T04:07:33Z |
last_indexed |
2022-12-14T04:07:33Z |
recordtype |
dc |
merged_child_boolean |
1 |
_version_ |
1752194285356187648 |
score |
17.60897 |