Cover Image

Ion Beam Assisted Deposition dan analisis lapisan tipis Diamond-Like Carbon untuk aplikasi tribologi

Main Authors: Nandang Suhendra, author, Add author: Sutopo, supervisor
Format: Masters Doctoral
Terbitan: Fakultas Teknik Universitas Indonesia , 1998
Subjects:
Diamond Deposits
Online Access: http://lontar.ui.ac.id/detail?id=78324
ctrlnum 78324
fullrecord <?xml version="1.0"?> <dc schemaLocation="http://www.openarchives.org/OAI/2.0/oai_dc/ http://www.openarchives.org/OAI/2.0/oai_dc.xsd"><type>Thesis:Masters</type><title>Ion Beam Assisted Deposition dan analisis lapisan tipis Diamond-Like Carbon untuk aplikasi tribologi</title><creator>Nandang Suhendra, author</creator><creator>Add author: Sutopo, supervisor</creator><publisher>Fakultas Teknik Universitas Indonesia</publisher><date>1998</date><subject>Diamond Deposits</subject><description>Diamond-like carbon amorfos telah berhasil dideposisikan pada substrate steel, menggunakan ion beam tunggal dan dua sumber karbon dalam bentuk gas dan padat (solid). Film-film hasil deposisi terbentuk dalam tiga warna, yaitu biru, kuning dan putih. Ketiga warna tersebut sangat bergantung pada jaraknya terhadap target solid. Ketebalan film berkisar mulai dari beberapa puluh sampai 200 nm, dan hardness nya dalam range 13.37 sampai 20.21 GPa. Tidak ada bukti yang penting mengenai terjadinya karburasi (carburation) dari substrate steel selama proses deposisi.</description><identifier>http://lontar.ui.ac.id/detail?id=78324</identifier><recordID>78324</recordID></dc>
format Thesis:Masters
Thesis
Thesis:Doctoral
author Nandang Suhendra, author
Add author: Sutopo, supervisor
title Ion Beam Assisted Deposition dan analisis lapisan tipis Diamond-Like Carbon untuk aplikasi tribologi
publisher Fakultas Teknik Universitas Indonesia
publishDate 1998
topic Diamond Deposits
url http://lontar.ui.ac.id/detail?id=78324
contents Diamond-like carbon amorfos telah berhasil dideposisikan pada substrate steel, menggunakan ion beam tunggal dan dua sumber karbon dalam bentuk gas dan padat (solid). Film-film hasil deposisi terbentuk dalam tiga warna, yaitu biru, kuning dan putih. Ketiga warna tersebut sangat bergantung pada jaraknya terhadap target solid. Ketebalan film berkisar mulai dari beberapa puluh sampai 200 nm, dan hardness nya dalam range 13.37 sampai 20.21 GPa. Tidak ada bukti yang penting mengenai terjadinya karburasi (carburation) dari substrate steel selama proses deposisi.
id IOS18068.78324
institution Universitas Indonesia
institution_id 51
institution_type library:university
library
library Perpustakaan Universitas Indonesia
library_id 492
collection Repository Disertasi (Membership) Universitas Indonesia
repository_id 18068
city KOTA DEPOK
province JAWA BARAT
repoId IOS18068
first_indexed 2022-12-14T04:21:57Z
last_indexed 2022-12-14T04:21:57Z
recordtype dc
merged_child_boolean 1
_version_ 1752204548349362176
score 17.610468

Lihat Juga