Pengaruh laju aliran gas SIH4/GeH4 terhadap karakteristik lapisan tipis (a-SiGe:H) dengan metode PECVD
| Main Author: | AZMI |
|---|---|
| Format: | Bachelors |
| Bahasa: | ind |
| Terbitan: |
FMIPA Unsyiah
, 2005
|
| Online Access: |
http://uilis.unsyiah.ac.id/uilis/index.php?p=show_detail&id=42946 |
Daftar Isi:
- +hlm.;cm