Pengaruh laju aliran gas SIH4/GeH4 terhadap karakteristik lapisan tipis (a-SiGe:H) dengan metode PECVD
Main Author: | AZMI |
---|---|
Format: | Bachelors |
Bahasa: | ind |
Terbitan: |
FMIPA Unsyiah
, 2005
|
Online Access: |
http://uilis.unsyiah.ac.id/uilis/index.php?p=show_detail&id=42946 |
Internet
http://uilis.unsyiah.ac.id/uilis/index.php?p=show_detail&id=42946Lokasi
Koleksi | Katalog Perpustakaan Unsyiah |
---|---|
Gedung | Perpustakaan Universitas Syiah Kuala |
Institusi | Universitas Syiah Kuala |
Kota | KOTA BANDA ACEH |
Provinsi | ACEH |
Kontak | Butuh informasi lebih lanjut? Hubungi pustakawan institusi ini. |